[实用新型]一种全集成压电驱动装置有效
| 申请号： | 201720896160.8 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN206921868U | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 李晓钊;施志贵;李争;董圣为;张浩;康凌风;李男男;杜亦佳;代刚 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所11569 | 代理人： | 刘奇 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种全集成压电驱动装置，包括PZT驱动层和SOI支撑平台，所述PZT驱动层包括底电极，所述底电极与所述SOI支撑平台连接；所述底电极通过金‑铟共晶键合形成。本实用新型提供的全集成压电驱动装置结构简单，通过金‑铟共晶键合形成PZT驱动层的底电极，并通过所述底电极与SOI支撑平台连接，避免了采用环氧胶装配方式导致的精度差、可重复性低的问题，提升了全集成压电驱动装置的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 压电 驱动 装置 | ||
【主权项】：
一种全集成压电驱动装置，包括PZT驱动层和SOI支撑平台，所述PZT驱动层包括底电极，所述底电极与所述SOI支撑平台连接；所述底电极通过金‑铟共晶键合形成。
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