[实用新型]自动定量换液进水装置有效
| 申请号： | 201720861964.4 | 申请日： | 2017-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN207204697U | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 邵玉林 | 申请（专利权）人： | 无锡琨圣科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及自动定量换液进水装置，包括主体，进液装置，进水装置，水槽，排水管，溢流管，第一传感器和第二传感器，所述水槽设置在主体上，进液装置包括第一供液管，第二供液管和供液器，所述第一供液管和第二供液管设置在水槽两侧，第一、第二供液管均与供液器、水槽连通，所述进水装置包括第一水管和第二水管，第一、第二水管与水槽连通，所述主体上设有出水口，所述排水管和溢流管与出水口连通，排水管与水槽底部连通，溢流管与水槽上方连通，第一、第二传感器设置在水槽上，第一传感器设置在第二传感器上方。本实用新型的自动定量换液进水装置能够从不同方向提供清洗液和水，从而使得对硅片的冲洗更全面，提升清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 定量 进水 装置 | ||
【主权项】：
自动定量换液进水装置，其特征在于，包括主体，进液装置，进水装置，水槽，排水管，溢流管，第一传感器和第二传感器，所述水槽设置在主体上，进液装置包括第一供液管，第二供液管和供液器，所述第一供液管和第二供液管设置在水槽两侧，第一、第二供液管均与供液器、水槽连通，所述进水装置包括第一水管和第二水管，第一、第二水管与水槽连通，所述主体上设有出水口，所述排水管和溢流管与出水口连通，排水管与水槽底部连通，溢流管与水槽上方连通，第一、第二传感器设置在水槽上，第一传感器设置在第二传感器上方。
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