[实用新型]一种喷洒角度可控的喷淋组件有效
| 申请号： | 201720840894.4 | 申请日： | 2017-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN206849817U | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 梁林旭 | 申请（专利权）人： | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙)32276 | 代理人： | 项丽 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种喷洒角度可控的喷淋组件，它包括支撑底座、可转动地安装在所述支撑底座上且平行设置的多道喷淋管组以及与所述喷淋管组相连接用于带动其转动的动力传动机构，所述动力传动机构包括第一连杆、一端与所述第一连杆相枢轴连接且另一端与所述喷淋管组相固定的多块连接卡块、角度调节盘、一端与所述第一连杆端部相枢轴连接且另一端偏心设置于所述角度调节盘表面的第二连杆以及与所述角度调节盘相连接用于带动其转动的电机。进而利用第一连杆带动喷淋管组的转动，实现其喷洒角度的调节和控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷洒 角度 可控 喷淋 组件 | ||
【主权项】：
一种喷洒角度可控的喷淋组件，其特征在于：它包括支撑底座（1）、可转动地安装在所述支撑底座（1）上且平行设置的多道喷淋管组（2）以及与所述喷淋管组（2）相连接用于带动其转动的动力传动机构（3），所述动力传动机构（3）包括第一连杆（31）、一端与所述第一连杆（31）相枢轴连接且另一端与所述喷淋管组（2）相固定的多块连接卡块（32）、角度调节盘（34）、一端与所述第一连杆（31）端部相枢轴连接且另一端偏心设置于所述角度调节盘（34）表面的第二连杆（33）以及与所述角度调节盘（34）相连接用于带动其转动的电机（36）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
