[实用新型]一种晶片清洗机水槽

摘要

本实用新型涉及一种晶片清洗机水槽，属于清洁设备技术领域。本实用新型包括不锈钢槽体和总水管，所述槽体内设有放置晶片的花篮，所述槽体顶部安装有若干喷淋管，喷淋管的一端与总水管通过分水管Ⅰ连接，分水管Ⅰ上设有气动阀Ⅰ，所述槽体底部设有不连续镂空底板，底板间隔内安装有滚轴，滚轴连接有驱动装置，所述槽体侧板上滚轴的下部还开有进水口，进水口与总水管之间通过分水管Ⅱ连接，分水管Ⅱ上设有气动阀Ⅱ，所述气动阀Ⅰ、气动阀Ⅱ、气动泵均与PLC控制器连接，所述槽体底板开有排水口，与现有技术相比，本实用新型实现了晶片洁净度高，洁净度一致性好的效果。

主权项

一种晶片清洗机水槽，其特征在于：包括不锈钢槽体和总水管(9)，所述槽体内设有放置晶片的花篮，所述槽体顶部安装有若干喷淋管(2)，喷淋管(2)的一端与总水管(9)通过分水管Ⅰ连接，分水管Ⅰ上设有气动阀Ⅰ(7)，所述槽体底部设有不连续镂空底板(4)，底板间隔内安装有滚轴(3)，滚轴(3)连接有驱动装置，所述槽体侧板上滚轴(3)的下部还开有进水口(10)，进水口(10)与总水管(9)之间通过分水管Ⅱ连接，分水管Ⅱ上设有气动阀Ⅱ(8)，所述气动阀Ⅰ(7)、气动阀Ⅱ(8)、气动泵(12)、滚轴(3)均与PLC控制器连接，所述槽体底板开有排水口(11)。