[实用新型]一种多晶硅片用贴合夹具有效

专利信息
申请号: 201720774958.5 申请日: 2017-06-29
公开(公告)号: CN207637770U 公开(公告)日: 2018-07-20
发明(设计)人: 陈跃骅 申请(专利权)人: 浙江旭盛电子有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L31/18
代理公司: 昆明合众智信知识产权事务所 53113 代理人: 钱磊
地址: 324300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种多晶硅片用贴合夹具,包括固定架,所述固定架的上端中心处固定连接有支架,所述固定架内通过活动腔设有第一直齿轮,且第一直齿轮的外壁一侧啮合连接有第二直齿轮,所述第二直齿轮的一侧设有转轴,所述第一直齿轮内对称插接有正向丝杆和反向丝杆,所述正向丝杆和反向丝杆的外壁均螺纹连接有活动块,所述活动块的底部固定连接有连接板,且连接板的外壁一侧通过卡槽水平插接有伸缩杆,所述伸缩杆远离连接板的一端固定连接有夹紧板,且夹紧板的外壁一侧均匀设有若干个夹紧槽。本实用新型结构简单,易操作,能够同时夹持多个多晶硅片,且有效避免多晶硅片的损坏,提高了生产效率和质量。
搜索关键词: 多晶硅片 外壁 固定架 连接板 齿轮 夹具 本实用新型 反向丝杆 正向丝杆 活动块 夹紧板 伸缩杆 直齿轮 插接 贴合 螺纹连接 啮合连接 上端中心 生产效率 活动腔 夹紧槽 夹持 卡槽 支架 转轴 对称
【主权项】:
1.一种多晶硅片用贴合夹具,包括固定架(1),其特征在于:所述固定架(1)的上端中心处固定连接有支架(2),所述固定架(1)内通过活动腔设有第一直齿轮(3),且第一直齿轮(3)的外壁一侧啮合连接有第二直齿轮(6),所述第二直齿轮(6)的一侧设有转轴,且转轴穿过支架(2)的内壁向外延伸端设有驱动电机(7),驱动电机(7)固定于固定架(1)的上端一侧,所述第一直齿轮(3)内对称插接有正向丝杆(4)和反向丝杆(5),所述正向丝杆(4)和反向丝杆(5)的外壁均螺纹连接有活动块(8),且活动块(8)的外壁两侧对称固定连接有限位杆(16),固定架(1)的内壁设有与限位杆(16)对应的第一限位槽,所述活动块(8)的底部固定连接有连接板(9),且连接板(9)的外壁一侧通过卡槽(11)水平插接有伸缩杆(10),所述伸缩杆(10)远离连接板(9)的一端固定连接有夹紧板(13),且夹紧板(13)的外壁一侧均匀设有若干个夹紧槽(14),所述夹紧板(13)与连接板(9)之间连接有两个对称的弹簧(17)。
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