[实用新型]一种多晶硅片用贴合夹具有效
申请号: | 201720774958.5 | 申请日: | 2017-06-29 |
公开(公告)号: | CN207637770U | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 陈跃骅 | 申请(专利权)人: | 浙江旭盛电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L31/18 |
代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 钱磊 |
地址: | 324300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅片用贴合夹具,包括固定架,所述固定架的上端中心处固定连接有支架,所述固定架内通过活动腔设有第一直齿轮,且第一直齿轮的外壁一侧啮合连接有第二直齿轮,所述第二直齿轮的一侧设有转轴,所述第一直齿轮内对称插接有正向丝杆和反向丝杆,所述正向丝杆和反向丝杆的外壁均螺纹连接有活动块,所述活动块的底部固定连接有连接板,且连接板的外壁一侧通过卡槽水平插接有伸缩杆,所述伸缩杆远离连接板的一端固定连接有夹紧板,且夹紧板的外壁一侧均匀设有若干个夹紧槽。本实用新型结构简单,易操作,能够同时夹持多个多晶硅片,且有效避免多晶硅片的损坏,提高了生产效率和质量。 | ||
搜索关键词: | 多晶硅片 外壁 固定架 连接板 齿轮 夹具 本实用新型 反向丝杆 正向丝杆 活动块 夹紧板 伸缩杆 直齿轮 插接 贴合 螺纹连接 啮合连接 上端中心 生产效率 活动腔 夹紧槽 夹持 卡槽 支架 转轴 对称 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅片用贴合夹具,包括固定架(1),其特征在于:所述固定架(1)的上端中心处固定连接有支架(2),所述固定架(1)内通过活动腔设有第一直齿轮(3),且第一直齿轮(3)的外壁一侧啮合连接有第二直齿轮(6),所述第二直齿轮(6)的一侧设有转轴,且转轴穿过支架(2)的内壁向外延伸端设有驱动电机(7),驱动电机(7)固定于固定架(1)的上端一侧,所述第一直齿轮(3)内对称插接有正向丝杆(4)和反向丝杆(5),所述正向丝杆(4)和反向丝杆(5)的外壁均螺纹连接有活动块(8),且活动块(8)的外壁两侧对称固定连接有限位杆(16),固定架(1)的内壁设有与限位杆(16)对应的第一限位槽,所述活动块(8)的底部固定连接有连接板(9),且连接板(9)的外壁一侧通过卡槽(11)水平插接有伸缩杆(10),所述伸缩杆(10)远离连接板(9)的一端固定连接有夹紧板(13),且夹紧板(13)的外壁一侧均匀设有若干个夹紧槽(14),所述夹紧板(13)与连接板(9)之间连接有两个对称的弹簧(17)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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