[实用新型]一种具有内参比气氛的气体传感器芯片有效
| 申请号： | 201720720309.7 | 申请日： | 2017-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN206945595U | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 袁春;李纯钢 | 申请（专利权）人： | 深圳市铭特科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司44223 | 代理人： | 王震宇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有内参比气氛的气体传感器芯片，包括基体单元、设置在所述基体单元上的内电极、外电极以及加热器，还包括连接所述内电极的泵电流产生单元，所述泵电流产生单元用于在所述内电极上施加一个微安级别的泵电流，所述泵电流在所述内电极上泵氧得到内参比气氛,且所述芯片上不具有用于引入参比空气气氛的空气腔道。通过在所述内电极上施加一个微安级别的泵电流，模拟得到的内参比气氛环境相对于外界引入的标准空气更加稳定、可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 内参 气氛 气体 传感器 芯片 | ||
【主权项】：
一种具有内参比气氛的气体传感器芯片，包括基体单元、设置在所述基体单元上的内电极、外电极以及加热器，其特征在于,还包括连接所述内电极的泵电流产生单元，所述泵电流产生单元用于在所述内电极上施加一个微安级别的泵电流，所述泵电流在所述内电极上泵氧得到内参比气氛,且所述芯片上不具有用于引入参比空气气氛的空气腔道。
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