[实用新型]一种UV膜盘多工位搬送翻转机构有效

专利信息
申请号: 201720641119.6 申请日: 2017-06-05
公开(公告)号: CN206907746U 公开(公告)日: 2018-01-19
发明(设计)人: 林宜龙;陈薇;黎满标;林清岚 申请(专利权)人: 深圳格兰达智能装备股份有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;H01L21/66
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司44202 代理人: 郝传鑫
地址: 518109 广东省深圳市坪*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供了一种用于芯片剥离设备上的UV膜盘多工位搬送翻转机构,包括第一搬送组件、第二搬送组件和双轴运动平台,所述双轴运动平台包括沿水平方向的滑轨,所述第一搬送组件和第二搬送组件能够沿所述滑轨运动,实现多工位搬送;所述第二搬送组件包括升降装置、夹料装置和旋转装置,所述旋转装置包括旋转气缸,所述夹料装置包括夹爪,所述旋转气缸驱动所述夹爪旋转,所述夹爪带动UV膜盘翻转。本实用新型提供的UV膜盘多工位搬送翻转机构,不仅能够实现膜盘的多工位搬送,而且在搬送的同时实现膜盘的自动翻转,从而节省了人力并且提高了生产效率。
搜索关键词: 一种 uv 膜盘多工位搬送 翻转 机构
【主权项】:
一种UV膜盘多工位搬送翻转机构,其特征在于:所述搬送翻转机构包括第一搬送组件(5)、第二搬送组件(6)和双轴运动平台(7),所述双轴运动平台(7)包括沿水平方向的滑轨(9),所述第一搬送组件(5)和第二搬送组件(6)能够沿所述滑轨(9)运动,实现多工位搬送;所述第二搬送组件(6)包括升降装置、夹料装置和旋转装置,所述旋转装置包括旋转气缸(25),所述夹料装置包括夹爪,所述旋转气缸(25)驱动所述夹爪旋转,所述夹爪带动UV膜盘翻转。
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