[实用新型]一种基于红外探测晶圆片数的同步信号检测系统有效
| 申请号： | 201720349067.5 | 申请日： | 2017-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN206757072U | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 刘旭亮 | 申请（专利权）人： | 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01V8/20 | 分类号： | G01V8/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区郭*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于红外探测晶圆片数的同步信号检测系统，它包括晶圆装载腔体、驱动电机、晶圆盒、红外发射器、红外接收器、前置放大电路、模拟转换开关电路、同步时序发生电路、同步驱动控制电路、输出放大电路；其特征在于所述的红外发射器分别与同步驱动控制电路和红外接收器相连；所述的前置放大电路分别与模拟转换开关电路和红外接收器相连；所述的同步时序发生电路分别与模拟转换开关电路和同步驱动控制电路相连；所述的模拟转换开关分别与前置放大电路、同步驱动控制电路、同步时序发生电路、输出放大电路相连。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 红外 探测 晶圆片数 同步 信号 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种基于红外探测晶圆片数的同步信号检测系统，它包括晶圆装载腔体、驱动电机、晶圆盒、红外发射器、红外接收器、前置放大电路、模拟转换开关电路、同步时序发生电路、同步驱动控制电路、输出放大电路；其特征在于所述的红外发射器分别与同步驱动控制电路和红外接收器相连；所述的前置放大电路分别与模拟转换开关电路和红外接收器相连；所述的同步时序发生电路分别与模拟转换开关电路和同步驱动控制电路相连；所述的模拟转换开关分别与前置放大电路、同步驱动控制电路、同步时序发生电路、输出放大电路相连。
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