[实用新型]多工位石墨烯快速生长设备

摘要

本实用新型公开了一种能够将石墨烯生长设备充分利用的多工位石墨烯快速生长设备，包括安装固定平台、真空泵、气体输送管道、加热装置、石墨烯生长工艺腔；所述石墨烯生长工艺腔具有密封法兰、抽真空口、进气口；所述抽真空口与真空泵连通；所述进气口与气体输送管道连通；所述石墨烯生长工艺腔至少具有两个；所述石墨烯生长工艺腔安装在固定平台上；所述石墨烯生长工艺腔具有工艺腔外管，所述加热装置设置在工艺腔外管的外侧；所述安装固定平台上设置有将加热装置从一个工艺腔外管外侧移动到另一个工艺腔外管外侧的加热装置移动装置。采用该多工位石墨烯快速伸长设备能够减少资源浪费、提高生产效率。

主权项

多工位石墨烯快速生长设备，包括安装固定平台(1)、真空泵(3)、气体输送管道(4)、加热装置(5)、石墨烯生长工艺腔(2)；所述石墨烯生长工艺腔(2)具有密封法兰(22)、抽真空口(23)、进气口(24)；所述抽真空口(23)与真空泵(3)连通；所述进气口(24)与气体输送管道(4)连通；其特征在于：所述石墨烯生长工艺腔(2)至少具有两个；所述石墨烯生长工艺腔(2)安装在固定平台(1)上；所述石墨烯生长工艺腔(2)具有工艺腔外管(21)，所述加热装置(5)设置在工艺腔外管(21)的外侧；所述安装固定平台(1)上设置有将加热装置(5)从一个工艺腔外管(21)外侧移动到另一个工艺腔外管(21)外侧的加热装置移动装置(6)。