[实用新型]一种紧凑的高真空阀门

摘要

本实用新型公开了一种紧凑的高真空阀门，包括阀座、阀盖和阀盖控制系统，阀座具有水平开口和前竖开口，阀盖控制系统控制阀盖盖合在阀座的水平开口上或离开，实现高真空阀门的关闭与开启，阀盖控制系统包括气缸；其特征在于，气缸前端铰接在阀座的上壁，后端的活塞杆伸向阀座的后侧，阀盖控制系统还包括旋转连杆一、传动转轴、旋转连杆二，传动转轴横向转动安装在阀座的后侧阀壁上，旋转连杆一下端垂直固定在传动转轴上，上端与气缸后端的活塞杆铰接，旋转连杆二前端与阀盖顶部连接，后端伸向阀座的后侧，同样垂直固定在传动转轴上。本实用新型能大大降低大型高真空阀门的设计高度，从而解决竖式高真空阀门占有空间过高的问题。

主权项

一种紧凑的高真空阀门，所述高真空阀门用于抽气系统和真空炉之间的连通控制，包括阀座、阀盖和阀盖控制系统，所述阀座具有与所述抽气系统连接的水平开口和与所述真空炉的抽气口连接的前竖开口，所述阀盖控制系统控制所述阀盖盖合在所述阀座的水平开口上或离开，实现所述高真空阀门的关闭与开启，所述阀盖控制系统包括气缸；其特征在于，所述气缸前端铰接在所述阀座的上壁，后端的活塞杆伸向所述阀座的后侧，所述阀盖控制系统还包括旋转连杆一、传动转轴、旋转连杆二，所述传动转轴横向转动安装在所述阀座的后侧阀壁上，所述旋转连杆一下端垂直固定在所述传动转轴上，上端与所述气缸后端的活塞杆铰接，所述旋转连杆二前端与所述阀盖顶部连接，后端伸向所述阀座的后侧，同样垂直固定在所述传动转轴上。