[实用新型]一种测量压电陶瓷微小位移的装置有效
申请号: | 201720152346.2 | 申请日: | 2017-02-20 |
公开(公告)号: | CN206573073U | 公开(公告)日: | 2017-10-20 |
发明(设计)人: | 安娜;邓建;马昊玥;卢睿;杨磊;边盾 | 申请(专利权)人: | 天津市中环量子科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司44205 | 代理人: | 唐致明 |
地址: | 300380 天津市西青区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种测量压电陶瓷微小位移的装置,包括计算机、数据采集卡、电压放大器、压电陶瓷和相移干涉装置。本实用新型涉及位移测量领域,一种测量压电陶瓷微小位移的装置,运用相移干涉原理进行光路系统的结构设计,通过相移干涉装置采集相移干涉图数据传给计算机处理得到压电陶瓷微小位移,结构简单、安装和使用方便,测量精度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 测量 压电 陶瓷 微小 位移 装置 | ||
【主权项】:
一种测量压电陶瓷微小位移的装置,其特征在于,其包括计算机、数据采集卡、电压放大器、压电陶瓷和相移干涉装置,所述相移干涉装置包括光探测器,所述计算机的输出端连接数据采集卡的输入端,用以控制数据采集卡输出电压,所述数据采集卡的输出端连接电压放大器的输入端,所述电压放大器的输出端连接压电陶瓷的输入端,所述压电陶瓷与相移干涉装置相连,所述光探测器用于采集因压电陶瓷位移产生的相移干涉条纹,所述光探测器的输出端连接计算机的输入端以将采集的相移干涉条纹传给计算机处理。
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