[实用新型]微型气体传输装置

摘要

一种微型气体传输装置，包含出气板，具有出气管、出气孔及多个凸出部，出气管是设置于出气板的第一表面，出气孔是设置于出气管中并贯穿出气板，用以排出气体，多个凸出部是设置于出气板的第二表面上，且每两相邻的凸出部之间定义形成凹陷的至少一通气口部；共振片；压电致动器，具有悬浮板，悬浮板具有第一表面及第二表面；外框；至少一支架，至少一支架连接悬浮板及外框且设置于悬浮板及外框之间；压电元件，贴附于悬浮板的第一表面；以及盖板，具有侧壁及底板，侧壁是环绕底板周缘而凸设于底板上并与底板形成容置空间。

主权项

一种微型气体传输装置，其特征在于，包含：一出气板，具有一出气管、一出气孔及多个凸出部，该出气管设置于该出气板的一第一表面，该出气孔设置于该出气管中并贯穿该出气板，用以排出气体，该多个凸出部设置于该出气板的一第二表面上，且每两相邻的该凸出部之间定义形成凹陷的至少一通气口部；一共振片，具有一中空孔洞，对应该出气板的该出气孔；一压电致动器，具有：一悬浮板，具有一第一表面与一第二表面；一外框；至少一支架，该至少一支架连接该悬浮板及该外框且设置于该悬浮板及该外框之间；以及一压电元件，贴附于该悬浮板的该第一表面；以及一盖板，具有一侧壁及一底板，该侧壁环绕该底板周缘而凸设于该底板上并与该底板形成一容置空间，且该共振片及该压电致动器设置于该容置空间中；其中，上述的该出气板、该共振片、该压电致动器及该盖板依序对应对叠设置定位，该出气板与该共振片之间形成一汇流腔室，该盖板与该共振片之间形成一第一腔室，当该压电致动器受驱动以进行集气作业时，气体先由该出气板的该至少一通气口部汇集至该汇流腔室，并进一步经由该共振片的该中空孔洞流至该第一腔室暂存，当该压电致动器受驱动以进行排气作业时，气体先由该第一腔室通过该共振片的该中空孔洞流至该汇流腔室，再经该出气孔排出。