[实用新型]一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置

摘要

本实用新型公开了一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置，属于真空镀膜技术领域。该装置包括汽化装置基体，汽化装置基体上安装有电热管、温控热电偶和化学原料泵入导管；化学原料泵入导管经汽化装置基本管路与一级汽化腔室连通，一级汽化腔室经汽化腔室连接管路与二级汽化腔室连通，二级汽化腔室经汽化装置基本管路与导热管连通，导热管端部连接等离子体挡板。该装置采用多级汽化方式，化学原料经一级汽化腔室汽化后进入二级汽化腔室，汽化充分；汽化装置出口安装等离子体挡板，可阻止等离子体进入汽化装置引发反应生成聚合物，防止腔体及管路堵塞；导热管和温控热电偶可维持化学原料蒸汽和等离子挡板的温度，避免化学原料蒸汽的冷凝。

主权项

一种纳米镀膜设备化学原料汽化装置，其特征是：该装置包括汽化装置基体(1)，汽化装置基体上方连接安装有化学原料泵入导管(3)，所述化学原料泵入导管底部与第一基本管路(9)连通；所述第一基本管路前端封闭，后端与一级汽化腔室(4)连通；所述一级汽化腔室经汽化腔室连接管路(8)与二级汽化腔室(5)连通，所述一级汽化腔室(4)与二级汽化腔室(5)分别位于汽化装置基体(1)两侧，所述二级汽化腔室经第二基本管路(10)与导热管(6)前端连通，所述导热管后端连接有等离子体挡板(7)，所述导热管上安装有气体出口(11)，所述第一基本管路(9)与所述汽化腔室连接管路(8)下方安装有电热管(2)，所述汽化装置基体底部安装有温控热电偶(12)。