[实用新型]一种超精密气体静压主轴气膜速度场测试装置

摘要

一种超精密气体静压主轴气膜速度场测试装置，包括上止推盘、主轴、下止推盘、轴套、气室外套、线状传感器以及主轴保持架，上止推盘、下止推盘分别与主轴的上下两端面同轴密封固接，三者共同形成用于容纳轴套的凹腔；轴套套在所述主轴外部，轴套与凹腔之间的间隙作为气模的容纳腔；轴套的外壁设有用于容纳气室外套的凹槽，轴套外部套装气室外套，凹槽的上下槽壁分别与气室外套上下两端面密封固接；轴套设有轴向节流孔、轴向细孔、多组径向节流孔和多组径向细孔，线状传感器的头部伸入气模内；主轴保持架设有卡槽。本实用新型的有益效果在于：实现超精密气体静压主轴气膜速度场的高效测试；根据需求布置测点，使用便捷；测试过程干扰小，可靠性高。

主权项

一种超精密气体静压主轴气膜速度场测试装置，其特征在于：包括上止推盘、主轴、下止推盘、轴套、气室外套、用于测定气体流速的线状传感器以及主轴保持架，所述上止推盘、下止推盘分别与所述主轴的上下两端面同轴密封固接，三者共同形成用于容纳轴套的凹腔；所述轴套套在所述主轴外部，所述轴套与凹腔之间的间隙作为气模的容纳腔；所述轴套的外壁设有用于容纳气室外套的凹槽，所述轴套外部套装所述气室外套，并且所述凹槽的上下槽壁分别与所述气室外套上下两端面密封固接；所述轴套设有轴向节流孔、轴向细孔、多组径向节流孔和多组径向细孔，所述轴向节流孔和轴向细孔均贯穿凹槽上下槽壁，轴向节流孔与凹槽内腔连通，轴向细孔与外腔连通；同组径向节流孔分布在同一个第一轴套轴截面上，不同组径向节流孔所在的第一轴套轴截面相互平行；同组径向细孔分布在同一个第二轴套轴截面上，不同组径向细孔位于彼此平行的第二轴套轴截面上；所述气室外套的壁面上设有进气孔以及与径向细孔位置一一对应的安装通孔；所述轴向细孔和所述径向细孔均从外部插入相应的线状传感器，且线状传感器的头部都伸入气模内；所述主轴保持架设有用于卡入上止推盘和/或下止推盘的卡槽。