[实用新型]抽真空系统有效
| 申请号： | 201720119504.4 | 申请日： | 2017-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN206477971U | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 王宏宇;黄晓霞;张国栋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B39/10;F04B41/06 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31313 | 代理人： | 蔡继清 |
| 地址： | 110179 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种抽真空系统，用于对真空室进行抽真空。抽真空系统包括前级泵、主抽泵、预抽阀和主阀，其中主阀设有进口、预抽口和出口，主阀的进口与真空室的抽真空口连通，主阀的预抽口与预抽阀的入口连通，主阀的出口与主抽泵的抽气口连通，以及前级泵的抽气口经由三通接头同时与主抽泵的排气口和预抽阀的出口直接连通。本申请的抽真空系统能够使得真空室在非常短的时间内达到所需的真空度。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 系统 | ||
【主权项】：
一种抽真空系统，用于对真空室进行抽真空，其特征在于，所述抽真空系统包括前级泵、主抽泵、预抽阀和主阀，其中所述主阀设有进口、预抽口和出口，所述主阀的进口与所述真空室的抽真空口连通，所述主阀的预抽口与所述预抽阀的入口连通，所述主阀的出口与所述主抽泵的抽气口连通，以及所述前级泵的抽气口经由三通接头同时与所述主抽泵的排气口和所述预抽阀的出口直接连通。
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