[实用新型]带有抽真空系统的平板式PECVD工艺腔

摘要

本实用新型涉及晶硅太阳能电池生产设备，旨在提供一种带有抽真空系统的平板式PECVD工艺腔。在中空状工艺腔的底部边缘设有多个抽气口，位于同一侧的抽气口通过管路接至同一根横管，横管通过管路接至三通或四通接头的水平接口；三通或四通接头的向下接口处装设可拆卸堵头，向上接口处连接一根竖管；竖管通过真空管道连接至真空泵，在竖管与真空管道相接处设过滤网。本实用新型除利用过滤网对各种颗粒粉尘进行拦截，还利用杂质自身重力来限制杂质进入真空泵，保护真空泵，延长了真空泵的使用寿命。在结构上的改动不大，设计合理，使用效果良好，能缩短抽真空时间提高生产效率；提高真空室气流的稳定性，使镀膜的条件更加理想化，提高膜的质量。

主权项

一种带有抽真空系统的平板式PECVD工艺腔，该工艺腔呈中空状；其特征在于，在工艺腔的底部边缘设有多个抽气口，其中位于同一侧的抽气口通过管路接至同一根横管，横管通过管路接至三通接头或四通接头的水平接口；三通接头或四通接头还包括向下接口和向上接口，其中向下接口处装设可拆卸堵头，向上接口处连接一根竖管；该竖管通过真空管道连接至真空泵，在竖管与真空管道相接处设过滤网。