[实用新型]一种晶体生长装置有效
申请号: | 201720036298.0 | 申请日: | 2017-01-12 |
公开(公告)号: | CN206721394U | 公开(公告)日: | 2017-12-08 |
发明(设计)人: | 宗艳民;朱灿;高超;柏文文;窦文涛 | 申请(专利权)人: | 山东天岳晶体材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/36 | 分类号: | C30B29/36;C30B15/10;C30B15/00 |
代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人: | 赵斌,苗峻 |
地址: | 250118 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种晶体生长装置,包括保温装置和坩埚,该保温装置包括主体和上盖,所述主体内部设置有空腔,所述空腔内壁圆周方向上均匀设置有4个插孔,垂直方向上设置有5组,且每组间距相同;通过插孔连接有支撑架,所述支撑架包括基座和与基座连接的伸缩杆,所述伸缩杆前端通过石墨托连接有支撑盘;采用这种结构的晶体生长装置,使用时可以根据不同晶体生长的需要确定坩埚在保温装置内的高度,然后将支撑架插入对应水平位置的插孔内,调节伸缩杆位置以适应不同尺寸的坩埚,将坩埚放置在四个支撑架上使凹槽与支撑盘置为一体即可,较之现有技术中采用的坩埚举升装置结构更加简单,可以适应不同晶体的加工需要。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 装置 | ||
【主权项】:
一种晶体生长装置,其特征在于:包括坩埚(9)和保温装置,其中保温装置包括主体(1)和上盖(7),所述主体(1)内部设置有空腔,所述空腔内壁圆周方向上均匀设置有4个插孔(2),垂直方向上共设置有5组,且每组间距相同;通过插孔(2)连接有支撑架(8),所述支撑架(8)包括基座(3)和与基座(3)连接的伸缩杆(6),所述伸缩杆(6)前端通过石墨托(5)连接有支撑盘(4);所述坩埚(9)底部设置有与支撑盘(4)形状对应的凹槽(10);所述凹槽(10)设置有4个,且彼此之间呈90度分布。
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