[发明专利]一种太赫兹无损检测硅片电阻率的装置及其使用方法在审
| 申请号： | 201711478375.9 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108226099A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 严辉;史珂;吴卫东;王雪敏;张永哲;仝文浩;邹蕊矫;黎维华;宋雪梅 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学;中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N21/59 | 分类号： | G01N21/59;G01R27/02 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 张立改 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种太赫兹无损检测硅片电阻率的装置及其使用方法，涉及太赫兹技术领域。包括太赫兹辐射源、准直扩束系统、样品台、太赫兹探测器、计算机、机械吸盘、返工片收集盒；太赫兹辐射源设置在最下方，太赫兹辐射源垂直向上辐射太赫兹波，准直扩束系统设置在太赫兹辐射源的正上方，所述太赫兹探测器设置在准直扩束系统正上方，太赫兹探测器与准直扩束系统之间有一段间距，太赫兹探测器的探头朝下，用于接收太赫兹辐射，样品台设置在太赫兹探测器与准直扩束系统之间，能够沿水平面移动，计算机与太赫兹探测器数据线相连，机械吸盘与计算机数据线连接，返工片收集盒独立。可在不接触硅片的情况下，无损地测量硅片的电阻率，不会对硅片造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 太赫兹探测器 准直扩束系统 太赫兹辐射源 硅片电阻率 机械吸盘 无损检测 收集盒 样品台 硅片 返工 计算机数据线 太赫兹辐射 测量硅片 垂直向上 太赫兹波 不接触 电阻率 数据线 计算机 无损 损伤 辐射 移动 | ||
【主权项】：
1.一种太赫兹无损检测硅片电阻率的装置，其特征在于，包括太赫兹辐射源、准直扩束系统、样品台、太赫兹探测器、计算机、机械吸盘、返工片收集盒；所述太赫兹辐射源设置在最下方，太赫兹辐射源垂直向上辐射太赫兹波，所述准直扩束系统设置在太赫兹辐射源的正上方，所述太赫兹探测器设置在准直扩束系统正上方，太赫兹探测器与准直扩束系统之间有一段间距，太赫兹探测器的探头朝下，用于接收太赫兹辐射，所述样品台设置在太赫兹探测器与准直扩束系统之间，能够沿水平面移动，计算机与太赫兹探测器数据线相连，机械吸盘与计算机数据线连接，返工片收集盒独立，所述机械吸盘和返工片收集盒均设置在样品台侧方。
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