[发明专利]电子束散焦的修正方法在审
| 申请号： | 201711447989.0 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108176854A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 聂炎;邹杰;李军旗 | 申请（专利权）人： | 深圳市圆梦精密技术研究院 |
| 主分类号： | B22F3/105 | 分类号： | B22F3/105;G06F17/16;B33Y10/00;B33Y50/02 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于电子束修正技术领域，尤其涉及一种电子束散焦的修正方法，包括如下步骤，S1：建立电子束的扫描范围并将扫描范围离散为若干个阵列点；S2：建立各阵列点的控制参数组；S3：建立各阵列点的控制参数组的向量表达式；S4：根据各向量表达式建立所有阵列点的控制参数组矩阵；S5：将各焦距值的控制参数视为常数，引入焦距值补偿量，根据焦距值及其对应的控制参数的数学关系，建立两者的比值关系方程；S6：根据比值关系方程确定各焦距补偿量；S7：将各阵列点的焦距补偿量与焦距值叠加，形成各阵列点对应的电子束实际焦距值。如此便实现了对电子束焦距值的修正，进而使得电子束的对焦点始终落于目标点上，实现了电子束的精准聚焦。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 焦距 控制参数组 修正 电子束散焦 焦距补偿量 向量表达式 比值关系 控制参数 扫描 矩阵 数学关系 补偿量 对焦点 目标点 叠加 聚焦 引入 | ||
【主权项】：
1.一种电子束散焦的修正方法，其特征在于：包括如下步骤：S1：建立电子束的扫描范围并将所述扫描范围离散为若干个阵列点；S2：确定各所述阵列点对应的所述电子束的焦距值和束流值并结合各所述阵列点的X轴坐标和各所述阵列点的Y轴坐标建立各所述阵列点的控制参数组；S3：建立各所述阵列点的控制参数组所对应的向量的表达式；S4：根据各所述阵列点的所述向量的表达式建立所有所述阵列点的控制参数组的矩阵；S5：将各所述控制参数组中的各所述焦距值所对应的控制参数视为常数，并引入所述电子束在发生偏转时的所述焦距值的焦距补偿量，根据所述焦距值与所述焦距值所对应的控制参数的数学关系建立各所述焦距补偿量与各所述焦距值的比值关系方程；S6：根据各所述焦距补偿量与各所述焦距值的比值关系方程确定各所述焦距补偿量的数学值；S7：将各所述阵列点的所述焦距补偿量与所述焦距值相叠加，形成各所述阵列点对应的所述电子束在发生偏转时的实际焦距值。
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