[发明专利]X射线荧光光谱仪的分布分析图像采集与数据处理系统

摘要

本发明涉及的是一种波谱能谱复合型X射线荧光光谱仪的关键功能部件，特别涉及一种用于波谱能谱复合型X射线荧光光谱仪的分布分析图像采集与数据处理系统。该系统通过成像模块精确定位待测样品表面区域，驱动样品移动到指定位置，进行能谱全元素分布分析和波谱单元素分布分析，经过数据定性定量分析模块将能谱数据与波谱数据结合，得到样品表面待测区域的元素含量的分布分析信息，通过数据图象处理模块建立二维和三维数据模型并显示。本发明将能谱快速扫描与波谱对重点区域精细扫描相结合，对样品进行快速高精度定位分析，提高分析速度和分析灵敏度，将常规分析与元素分布分析相结合，波谱与能谱相结合，拓展了WEDXRF光谱仪应用领域。

主权项

一种X荧光光谱仪的分布分析图像采集与数据处理系统，该X射线荧光光谱仪为波谱能谱复合型，可选择性地进行能谱测量和/或波谱测量，其特征在于：该系统包括：操作界面模块(1)、软硬件通讯模块(2)、CCD照相成像模块(3)、样品移动平台控制模块(4)、探测器切换模块(5)、数据定性定量分析模块(6)和数据图象处理模块(7)；所述操作界面模块(1)通过软硬件通讯模块(2)分别与CCD照相成像模块(3)、样品移动平台控制模块(4)、探测器切换模块(5)、数据定性定量分析模块(6)和数据图象处理模块(7)连接；其中：所述CCD照相成像模块(3)拍摄样品测量面的图像，通过软硬件通讯模块(2)将图像回传至操作界面模块(1)；用户通过所述操作界面模块(1)人工或自动选择需要重点关注的样品表面区域；所述样品移动平台控制模块(4)根据重点关注的样品表面区域将样品移动至指定目标位置；所述探测器切换模块(5)首先将探测采集模块切换到能谱模式进行能谱全元素快速扫描，然后将探测采集模块切换到波谱模式进行波谱单元素精细扫描；数据定性定量分析模块(6)对探测采集模块扫描得到的X荧光强度与能量信息进行波谱数据与能谱数据相结合的综合分析，将得到的样品指定位置的元素含量分布分析信息输送到数据图象处理模块(7)进行处理，最终建立直观立体的二维和/或三维数据模型，并通过软硬件通讯模块(2)将数据模型信息回传至操作界面模块(1)并显示。