[发明专利]X射线荧光光谱仪的分布分析图像采集与数据处理系统

说明书

技术领域

本发明涉及的是一种波谱能谱复合型X射线荧光光谱仪(以下简称WEDXRF光谱仪)的关键功能部件，特别涉及一种适用于波谱能谱复合型X射线荧光光谱仪的分布分析图像采集与数据处理系统。

背景技术

随着现代科技的发展，各种高强度、高韧性新型金属材料日趋纯净化和匀质化，但常规的光谱仪主要以整体样品分析为主，溶液进样的ICP光谱仪/质谱仪仅能获得取样部分的平均化学成分数据，而材料的组织结构、性能与能够表征“材料均匀性”的元素成分分布信息的关系更为直接，因此，开发行之有效的元素分布分析技术对样品进行微区分析至关重要。

现有的元素分布分析手段有火花光谱原位分析仪、辉光光谱仪、激光光谱原位分析仪等，其中，火花光谱原位分析仪发展成熟，但要求样品导电、灵敏度低、适于平面样品；辉光光谱仪对样品均匀剥蚀，剥蚀斑点＞4mm，适合深度分布分析,表面分布分析分辨率低；激光光谱原位分析仪的剥蚀斑点小，样品不需要导电，但为保持灵敏度的大功率激光器影响剥蚀斑点质量。X射线荧光光谱仪由于其可直接对块状、液体、粉末样品进行绝对无损的分析，同时可对小区域或微区样品进行分布分析，检测灵敏度高，获得了广泛应用。

现有技术中的带分布分析功能的X射线荧光光谱仪对于块状样品的元素分布分析，均采用单独用能谱扫描模式或单独用波谱扫描模式，单独用能谱分布分析扫描方式速度快，但灵敏度低，轻元素探测能力不能满足需要；单独用波谱分布分析扫描模式速度慢，但灵敏度高，能获得轻元素的准确信息。但是波谱能谱复合型X射线荧光光谱仪，至今还未见报道。

发明内容

本发明的目的是提供一种适用于WEDXRF光谱仪的分布分析图像采集与数据处理系统，使WEDXRF光谱仪既能进行常规的整体样品分析，又可以提供波谱能谱复合扫描的样品元素分布分析，同时实现能谱快速扫描以及波谱对重点区域精细扫描，通过波谱能谱功能的合理搭配，配合专用的高精度三维样品移动平台与CCD照相成像模块，对指定区域的样品信息进行能谱快速分布分析、重点区域波谱精细分布分析，结合两种扫描方式的优点，不仅能迅速准确的寻找到待测量目标区(mm尺度)，也能为该微区成长或形成的周围环境提供重要信息，并通过数据图象处理模块建立样品二维与三维立体数据模型并进行处理与显示，同时建立能量色散数据处理模型与样品小面积分析的波长色散定量分析模型。

为了实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：

本发明的设计思想在于，在WEDXRF光谱仪进行样品整体分析时，可以单独使用波谱分析模式或者能谱分析模式；在WEDXRF光谱仪进行样品的元素分布分析时，结合使用波谱分析模式与能谱分析模式，此时，系统通过CCD照相成像模块精确定位需要关注的样品表面区域(mm尺度)，驱动样品移动平台快速精确(极坐标情况下，半径R精度达μm级，角度Θ精度达0.5°)的移动样品到指定位置后，将探测采集模块切换到能谱模式，采用Si半导体探测器对样品进行全元素快速分布分析，然后再将探测采集模块切换到波谱模式，当采集轻元素时采用正比计数器，采集重元素时采用闪烁计数器，对样品指定位置进行波谱单元素精确扫描，最终将采集到的X荧光强度与能量信息回传到上位机，上位机经过数据定性定量分析模块将能谱分析数据与波谱分析数据相结合，获得样品指定位置的元素含量信息，从而得到样品表面的元素含量的分布分析信息，最终通过数据图象处理模块建立直观立体的二维与三维数据模型。

一种X荧光光谱仪的分布分析图像采集与数据处理系统，该X射线荧光光谱仪为波谱能谱复合型，可选择性地进行能谱测量和/或波谱测量，该系统包括：操作界面模块1、软硬件通讯模块2、CCD照相成像模块3、样品移动平台控制模块4、探测器切换模块5、数据定性定量分析模块6和数据图象处理模块7；所述操作界面模块1通过软硬件通讯模块2分别与CCD照相成像模块3、样品移动平台控制模块4、探测器切换模块5、数据定性定量分析模块6和数据图象处理模块7连接；其中：

所述CCD照相成像模块3拍摄样品测量面的图像，通过软硬件通讯模块2将图像回传至操作界面模块1；

用户通过所述操作界面模块1人工或自动选择需要重点关注的样品表面区域；

所述样品移动平台控制模块4根据重点关注的样品表面区域将样品移动至指定目标位置；

所述探测器切换模块5首先将探测采集模块切换到能谱模式进行能谱全元素快速扫描，然后将探测采集模块切换到波谱模式进行波谱单元素精细扫描；