[发明专利]一种T形浮动元件电容式剪应力微传感器芯片在审
| 申请号： | 201711416100.2 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN109959581A | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 苑伟政;丁光辉;马炳和;邓进军;罗剑;杜希奇;刘康;刘国政 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学;中国航空工业空气动力研究院 |
| 主分类号： | G01N13/00 | 分类号： | G01N13/00 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 高霖 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种T形浮动元件电容式剪应力微传感器芯片，包括：T形浮动元件(1)、弹性梁(2)、可动梳齿(3)、固定梳齿(4)和基底(5)。本发明的一种T形浮动元件电容式剪应力微传感器芯片，极大简化了微传感器结构的力学模型，提高了设计效率。同时，所述的T形浮动元件覆盖在弹性梁和梳齿结构的上方，减小了梳齿结构被阻塞或黏附的概率，提高了微传感器在实际测量中的可靠性与持续、可重复测量能力。 | ||
| 搜索关键词： | 浮动元件 微传感器 电容式 剪应力 梳齿结构 芯片 弹性梁 测量能力 固定梳齿 可动梳齿 力学模型 设计效率 实际测量 可重复 基底 减小 黏附 阻塞 概率 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种T形浮动元件电容式剪应力微传感器芯片，包括：T形浮动元件(1)、弹性梁(2)、可动梳齿(3)、固定梳齿(4)和基底(5)；其中，T形浮动元件(1)覆盖在弹性梁(2)、可动梳齿(3)和固定梳齿(4)的上方，T形浮动元件(1)四周环绕有四块基底(5)，所述的弹性梁(2)有四根，位于T形浮动元件(1)前后两端部，每根的弹性梁(2)的两端分别固连于T形浮动元件(1)的前后端和前、后基底(5)上，弹性梁(2)为T形浮动元件(1)和可动梳齿(3)提供弹性支撑，使它们在剪应力的作用下产生位移，多根所述的可动梳齿(3)固连于T形浮动元件(1)下部的左右侧面，多根固定梳齿(4)固连于基底(5)上，与可动梳齿(3)相对且错位排列，可动梳齿(3)和固定梳齿(4)组成梳齿电容器，用于检测T形浮动元件(1)的微小位移变化。
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