[发明专利]一种低工艺成本的薄膜太阳能电池柔性金属箔衬底

摘要

本案涉及一种低工艺成本的薄膜太阳能电池柔性金属箔衬底,以氮化硅陶瓷作为刚性基底；在刚性基底上喷涂剥离层；在剥离层上通过真空溅射制备银合金金属箔衬底；在金属箔衬底上依次形成薄膜太阳能电池功能层系；将聚合物衬底从刚性基底上剥离；本发明所提供的薄膜太阳能电池柔性聚合物衬底，利用现有技术中的设备就能实现大规模生产，通过在衬底与刚性基底之间创造性地加入剥离层，使薄膜太阳能电池的金属箔衬底与刚性基底能够容易分离，该制备工艺操作简单，避免使用价格高昂的绕卷式镀膜方式，充分利用现有的成熟设备，提高了产品的性价比。

主权项

1.一种低工艺成本的薄膜太阳能电池柔性金属箔衬底,其特征在于，以氮化硅陶瓷作为刚性基底；在刚性基底上喷涂剥离层；在剥离层上通过真空溅射制备银合金金属箔衬底；在金属箔衬底上依次形成薄膜太阳能电池功能层系；将聚合物衬底从刚性基底上剥离；其中，所述剥离层含有乙烯-醋酸乙烯共聚物、聚乙烯、油酸酰胺、硅胶、硝酸纤维素；所述银合金金属箔选自银镍合金、银铟合金、银铈合金、银钛合金和银镁合金中的一种。