[发明专利]一种低工艺成本的薄膜太阳能电池柔性金属箔衬底

权利要求书

1.一种低工艺成本的薄膜太阳能电池柔性金属箔衬底,其特征在于，以氮化硅陶瓷作为刚性基底；在刚性基底上喷涂剥离层；在剥离层上通过真空溅射制备银合金金属箔衬底；在金属箔衬底上依次形成薄膜太阳能电池功能层系；将聚合物衬底从刚性基底上剥离；

其中，所述剥离层含有乙烯-醋酸乙烯共聚物、聚乙烯、油酸酰胺、硅胶、硝酸纤维素；所述银合金金属箔选自银镍合金、银铟合金、银铈合金、银钛合金和银镁合金中的一种。

2.根据权利要求1所述的金属箔衬底，其特征在于，所述剥离层中各组分的重量份如下：

3.根据权利要求1所述的金属箔衬底，其特征在于，所述银合金中银的质量分数在85-90％。

4.根据权利要求1所述的金属箔衬底，其特征在于，所述剥离层的厚度在60-90μm。

5.根据权利要求1所述的金属箔衬底，其特征在于，所述金属箔的厚度在小于1μm。

6.根据权利要求1所述的金属箔衬底，其特征在于，所述将金属箔衬底从刚性基底上剥离后用50-55℃的乙醇擦除衬底上残留的剥离层。

7.根据权利要求1所述的金属箔衬底，其特征在于，所述薄膜太阳能电池可以是硅基类、化合物类或者染料敏化薄膜太阳能电池。