[发明专利]一种面板缺陷检查装置

摘要

本发明涉及面板光学检测装置结构技术领域，具体地指一种面板缺陷检查装置。包括沿Z向分置于待检测面板两侧的显微镜和光源，其特征在于还包括X向滑移机构和Y向滑移机构；所述的Y向滑移机构滑动连接于所述X向滑移机构；所述的显微镜与光源滑动连接于所述Y向滑移机构；所述的Y向滑移机构上设置有在显微镜与光源沿Y向移动过程中保持显微镜与光源始终处于两两相对的同步状态的联动机构；所述的X向、Y向和Z向两两垂直相交。本发明的微观缺陷查看装置结构简单，操作方便，同步光源与显微镜能够最大程度将灯箱的造价，减少了电能的消耗，提高了面板的检查效率，具有极大的推广价值。

主权项

一种面板缺陷检查装置，包括沿Z向分置于待检测面板两侧的显微镜(1)和光源(2)，其特征在于：还包括X向滑移机构和Y向滑移机构；所述的Y向滑移机构滑动连接于所述X向滑移机构；所述的显微镜(1)与光源(2)滑动连接于所述Y向滑移机构；所述的Y向滑移机构上设置有在显微镜(1)与光源(2)沿Y向移动过程中保持显微镜(1)与光源(2)始终处于两两相对的同步状态的联动机构；所述的X向、Y向和Z向两两垂直相交。