[发明专利]一种柔性电子压力传感装置及其制备方法有效
申请号: | 201711384185.0 | 申请日: | 2017-12-20 |
公开(公告)号: | CN108151949B | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 李晖;陈静;高钦武;王磊 | 申请(专利权)人: | 深圳先进技术研究院 |
主分类号: | G01L9/04 | 分类号: | G01L9/04 |
代理公司: | 深圳智趣知识产权代理事务所(普通合伙) 44486 | 代理人: | 王策 |
地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明适用于传感器制作和封装技术领域,公开了一种柔性电子压力传感装置及其制备方法。柔性电子压力传感装置包括柔性外壳,柔性外壳内具有内部容腔,内部容腔包括多个阵列通道和连通于多个阵列通道同一端面的连通腔,内部容腔内设置有液态金属导体,柔性外壳连接有至少两个与液态金属导体相接的电极。柔性电子压力传感装置的制备方法用于制备上述柔性电子压力传感装置。本发明所提供的一种柔性电子压力传感装置及其制备方法,柔性电子压力传感装置能够完全贴合三维复杂静/动态表面的同时完成接触压力的测量,且稳定性、精度、准确度和可靠性高,耐高温,适用范围广、使用寿命长。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 电子 压力 传感 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种柔性电子压力传感装置,其特征在于,包括柔性外壳,所述柔性外壳内具有内部容腔,所述内部容腔包括多个阵列通道和连通于多个所述阵列通道的连通腔,所述内部容腔内设置有液态金属导体,所述柔性外壳连接有至少两个与所述液态导体或半液态导体相接的电极。
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