[发明专利]一种平板电极介质阻挡放电的表面电荷测量系统

摘要

本发明公开了一种平板电极介质阻挡放电的表面电荷测量系统，所述系统包括放电单元、介质表面检测部分和检测数据处理部分，所述放电单元中放电气室内部放置有平板电极，外部与真空泵相连，平板电极的高压极由铜环高压极与ITO镀膜玻璃板组成，接地极由BSO晶体和接地铝电极组成，平板电极中间放置有被测试品；所述介质表面检测系统由激光器、柯勒照明系统、偏振光分离器、线性光线滤波片、λ/8波片、线性极化滤光器、滤光片、线性光线滤光器、彩光滤光器和高速摄像机组成，经由介质表面检测系统的光线最终输入到检测数据处理部分进行数据处理。所述系统能够准确定量地分析介质表面电荷的积累、分布和变化情况，具有广阔应用前景。

主权项

1.一种平板电极介质阻挡放电的表面电荷测量系统，其特征在于：所述系统包括放电单元、介质表面检测系统和检测数据处理部分，所述放电单元中放电气室内部放置有平板电极，外部与真空泵相连，平板电极的高压极由铜环高压极与ITO镀膜玻璃板组成，接地极由BSO晶体和接地铝电极组成，平板电极中间放置有被测试品；所述介质表面检测系统由激光器、柯勒照明系统、偏振光分离器、线性光线滤波片、λ/8波片、线性极化滤光器、滤光片、线性光线滤光器、彩光滤光器和高速摄像机组成，激光器发射的光线经柯勒照明系统拓展成一定直径的平行光束后照射到偏振光分离器，偏振光分离器使非线性光束过滤为平行射出，将线性偏振光束发生90度°的反射，反射光束经过线性光线滤光片，而外界的冗余的杂质光束由线性光线滤光片滤掉，过滤后的光束经过λ/8玻片，使线性偏振光束变成椭圆偏振光束，椭圆偏振光束经过线性极化滤光器，使线性极化偏振光线过滤掉，并保留椭圆偏振光束，通过线性极化滤光器的椭圆偏振光束通过BSO晶体，并由处于BSO晶体后面位置的抛光铝镜将光束反射，光束再次通过BSO晶体、线性极化滤光器后，反射的椭圆偏振光束经过λ/8玻片，将椭圆偏振光束变为线性偏振光并通过线性光线滤光片和偏振光分离器，外界冗余的杂质光束，即气体放电产生的光和外界自然光线由滤光片、线性光线滤光器、彩光滤光器过滤掉，最后经过过滤的线性偏振光束被高速摄像机捕获，输入检测数据处理部分进行数据处理。