[发明专利]一种采用纳米颗粒制备CZTS薄膜的方法在审
申请号: | 201711378452.3 | 申请日: | 2017-12-19 |
公开(公告)号: | CN108039381A | 公开(公告)日: | 2018-05-15 |
发明(设计)人: | 张险峰;陈庆武;张成 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学中山学院 |
主分类号: | H01L31/032 | 分类号: | H01L31/032 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 肖平安 |
地址: | 528400 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种采用纳米颗粒制备CZTS薄膜的方法,其通过湿法球磨的方式,采用了没有任何毒性的溶剂来制备CZTS的纳米颗粒溶液。采用过滤及离心分离的方式来获得仅仅含有CZTS纳米颗粒的溶液。通过采用合适的球磨时间,溶剂种类及离心时间获得了纳米颗粒生产效率最高的配方。这一纳米颗粒之后被用来制备CZTS前驱膜。之后这一前驱膜被用于硫气氛的高温退火。CZTS薄膜晶粒尺寸及晶向都得到了有效的改善。薄膜中硫元素的比例也超过了50%。通过采用X射线衍射及拉曼谱发现薄膜中没有二次相。 | ||
搜索关键词: | 一种 采用 纳米 颗粒 制备 czts 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
1.一种采用纳米颗粒制备CZTS薄膜的方法,其特征在于:包括有以下步骤:(1)将50g 1mm直径的研磨球和13.6g 50微米的研磨球同1g CZTS粉末进行混合,倒入研磨容器内;(2)向研磨容器内滴入3ml酒精;(3)将研磨容器进行密封;(4)将研磨容器固定在球磨容器上;(5)进行36小时顺时针及逆时针方向旋转球磨,同时球磨容器主动,带动研磨容器公转;(6)向25微米孔径过滤网上滴入3mL 2-(2-乙氧基乙烷);(7)将研磨完的溶液进行过滤,获得溶液;(8)用酒精和2-(2-乙氧基乙烷)将溶液进行稀释;(9)将溶液进行超声处理;(10)将溶液进行低速离心处理,防止颗粒凝结,处理完成后去除沉淀物;(11)将溶液进行高速离心处理,防止颗粒凝结,处理完成后去除沉淀物;(12)在溶液中加入适量甲醇,并进行超声波处理;(13)将溶液进行高速离心处理,使溶液中悬浮颗粒完全沉淀,去除溶剂;(14)将沉淀物中加入酒精,进行超声处理;(15)将溶液进行离心处理,使溶液中悬浮颗粒完全沉淀,去除溶剂;(16)重复步骤(14)-(15)三次,获得纯纳米颗粒;(17)称取纳米颗粒的重量,并加入适量酒精进行超声处理,获得CZTS纳米颗粒溶液;(18)采用旋转涂覆的方法在覆Mo的钠钙玻璃上喷涂CZTS前驱膜;(19)采用低温加热的方式去除CZTS中的有机溶剂。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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