[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物在审
| 申请号： | 201711375268.3 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN108267939A | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 崔庆默;金佑逸;洪宪杓 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;钟海胜 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种抗蚀剂剥离液组合物，其包含氨基磺酸盐化合物，从而彩色抗蚀剂剥离效果优异，即使长时间保存时，剥离效果也不会降低。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂剥离液 剥离效果 氨基磺酸盐 彩色抗蚀剂 时间保存 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂剥离液组合物，其特征在于，包含氨基磺酸盐化合物。
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