[发明专利]细线宽多振镜头激光刻蚀机在审
| 申请号： | 201711356830.8 | 申请日： | 2017-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN108098135A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 陈刚;袁聪;方小春;汪伟 | 申请（专利权）人： | 武汉吉事达科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/082;B23K26/362 |
| 代理公司： | 江苏殊成律师事务所 32265 | 代理人： | 杨桂平 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种细线宽多振镜头激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头、X、Y轴直线运动平台和F‑θ透镜组，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头、二维振镜头和F‑θ透镜组安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，F‑θ透镜组安装在二维振镜头下部，多件激光发生器的激光头、二维振镜头和F‑θ透镜组组合后并排安装相邻的激光发生器的激光头、二维振镜头和F‑θ透镜组组合之间的距离为F‑θ透镜组刻蚀的幅面宽度两倍及以上的整数倍。本发明的细线宽多振镜头激光刻蚀机，加工速度快，生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 二维振镜头 激光发生器 激光头 透镜组 激光刻蚀机 振镜头 细线 透镜 控制系统 吸附平台 计算机系统 激光 并排安装 生产效率 幅面 出光孔 进光孔 整数倍 刻蚀 同心 加工 | ||
【主权项】：
1.细线宽多振镜头激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头、X、Y轴直线运动平台和F-θ透镜组，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，F-θ透镜组安装在二维振镜头下部，X、Y轴直线运动平台运动方向相互垂直，激光发生器、二维振镜头和F-θ透镜组各有多件，多件激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组组合后并排安装，其特征在于：相邻的激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组组合之间的距离为F-θ透镜组刻蚀的幅面宽度两倍及以上的整数倍。
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