[发明专利]一种集成有温控装置的抛光盘夹具在审
| 申请号： | 201711352377.3 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN108015661A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 计时鸣;曹慧强;潘烨;赵军;郑晨亮 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B41/06;B24B49/00 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成有温控装置的抛光盘夹具，包括抛光盘夹具和底座，所述抛光盘夹具中心设有沉头座，所述沉头座底面布置四条同心环槽，每条同心环槽内均设置有与对应同心环槽大小一致且深度相同的加热片；相邻的同心环槽之间的沉头座底面上还设置有多个沿周向分布的小螺纹孔，每个小螺纹孔内安装有尺寸与小螺纹孔的尺寸一致的温度传感器。本发明可以在抛光被加工的工件的过程中实时检测被加工件表面的温度，不需要暂停加工过程；可以在抛光被加工工件的过程中实时对被加工件表面进行加热，不需要暂停加工过程；通过检测温度和局部加热工件，能够使工件加工过程中局部温度得到控制，从而使得被加工件的表面尺寸精度和形状精度得到保证。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 温控 装置 抛光 夹具 | ||
【主权项】：
1.一种集成有温控装置的抛光盘夹具，包括抛光盘夹具(1)和底座(4)，所述抛光盘夹具(1)中心设有沉头座，沉头座的直径略大于工件(9)的直径，沉头座的深度略小于工件(9)的厚度，需要被加工的工件(9)直接放置在抛光盘夹具(1)中心的沉头座上；所述抛光盘夹具(1)沿着周向开设有多个沉头孔(2)，对应的底座(4)上开设有对应数量的螺纹孔，抛光盘夹具(1)和底座(4)通过穿过沉头孔(2)和螺纹孔的螺钉(7)固定连接；所述沉头座的底面上还设置有多个吸附孔(6)，抛光盘夹具(1)和底座(4)设置有与吸附孔(6)相连通的真空腔(11)，所述真空腔(11)通过设置在底座(4)上的排气孔(10)连接外置真空发生装置；其特征在于：还包括加热片(5)和温度传感器(3)，所述沉头座底面布置四条同心环槽，每条同心环槽内均设置有与对应同心环槽大小一致且深度相同的加热片(5)；相邻的同心环槽之间的沉头座底面上还设置有多个沿周向分布的小螺纹孔，每个小螺纹孔内安装有尺寸与小螺纹孔的尺寸一致的温度传感器(3)。
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