[发明专利]一种用于液相外延设备的炉门装置有效
| 申请号： | 201711330810.3 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109916181B | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 魏唯 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;徐好 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于液相外延设备的炉门装置，包括炉门，还包括炉门安装板、安装框架、开关门驱动组件及用于支撑石墨舟的支撑组件，所述炉门安装于所述炉门安装板上，所述支撑组件安装于所述炉门上，所述安装框架设于所述炉门安装板远离所述炉门的一侧，所述开关门驱动组件与所述安装框架相连，所述安装框架上设有拉舟驱动件，石墨舟的拉杆贯穿所述炉门和所述炉门安装板并与所述拉舟驱动件相连，所述炉门安装板和所述安装框架之间沿所述炉门外周设置有多组带预紧的弹性缓冲组件。本发明具有结构简单、自动化程度高、可提高密封性能等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 外延 设备 炉门 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于液相外延设备的炉门装置，包括炉门(1)，其特征在于：还包括炉门安装板(2)、安装框架(3)、开关门驱动组件(4)及用于支撑石墨舟(5)的支撑组件(6)，所述炉门(1)安装于所述炉门安装板(2)上，所述支撑组件(6)安装于所述炉门(1)上，所述安装框架(3)设于所述炉门安装板(2)远离所述炉门(1)的一侧，所述开关门驱动组件(4)与所述安装框架(3)相连，所述安装框架(3)上设有拉舟驱动件(31)，石墨舟(5)的拉杆(51)贯穿所述炉门(1)和所述炉门安装板(2)并与所述拉舟驱动件(31)相连，所述炉门安装板(2)和所述安装框架(3)之间沿所述炉门(1)外周设置有多组带预紧的弹性缓冲组件(7)。
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