[发明专利]一种薄膜电阻产热均匀性的检测方法有效
| 申请号： | 201711327964.7 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN108226219B | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 叶志斌;王海伦;吕梅蕾;江赴洋 | 申请（专利权）人： | 衢州学院 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20 |
| 代理公司： | 台州市方圆专利事务所(普通合伙) 33107 | 代理人： | 周小姣 |
| 地址： | 324002 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种薄膜电阻产热均匀性的检测方法，属于薄膜电阻技术领域。它解决了现有的技术无法判断薄膜电阻产热是否均匀的问题。本薄膜电阻产热均匀性的检测方法包括：建立三维坐标系；给镀在厚度为L的导热介质表面的薄膜电阻通电流，构成模拟热源；加热时间t |
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| 搜索关键词： | 一种 薄膜 电阻 均匀 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜电阻产热均匀性的检测方法，包括建立三维坐标系；给镀在厚度为L的导热介质(2)表面的薄膜电阻(1)通电流，构成模拟热源；加热时间t0后，测量薄膜电阻(1)表面的温度，得到T0(x，y，z＝L，t＝t0)，其特征在于，所述检测方法还包括：对热流密度q(x，y)进行构建，令：q(x,y)＝q0+Pn(x)*Pm(y)，其中，![]()
m和n为常数，q0为假定的均匀热流密度；通过对m和n取不同数值从而得到对应T0(x，y，z＝L，t＝t0)差值最小的热流密度qi(x，y)；将求得的qi(x，y)代入下述等式中以判断薄膜电阻(1)产热是否均匀，在U的数值等于1时判断薄膜电阻(1)产热是均匀的，![]()
式中：qij(x，y)为薄膜电阻(1)的热流密度，![]()
为平均热流密度，n为取样点数。
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