[发明专利]一种从静电力显微镜探测图像中提取表面电势信号的方法

摘要

本发明公开了一种从静电力显微镜探测图像中提取表面电势信号的方法，包括：利用静电力显微镜探测试样表面，获得试样的二维静电力显微探测图像；利用格林函数理论和有限元数值计算方法，建立静电力显微信号与试样表面电势信号之间的定量卷积模型；利用数字信号处理方法对建立定量卷积模型离散化，及利用维纳滤波方法对二维静电力显微探测图像反卷积处理获得频域空间试样表面电势与静电力显微信号之间的关系式，并进行二维傅立叶逆变换获得试样的表面电势信号。本发明充分考虑到探针侧壁的影响，因此建模更加准确，且具有一定的普遍性，适用于表面电势信号不随时间变化的测试对象。

主权项

1.一种从静电力显微镜探测图像中提取表面电势信号的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、利用静电力显微镜系统探测试样表面，根据探测的静电力显微信号获得试样的二维静电力显微探测图像；步骤2、利用格林函数理论和有限元数值计算方法，建立静电力显微信号与试样表面电势信号之间的定量卷积模型；步骤3、利用数字信号处理方法对建立定量卷积模型离散化，及利用维纳滤波方法对二维静电力显微探测图像反卷积处理获得频域空间试样表面电势与静电力显微信号之间的关系式，并进行二维傅立叶逆变换获得试样表面电势信号。