[发明专利]一种用于MEMS惯性测量组合温控的保温结构

摘要

本发明公开了一种用于MEMS惯性测量组合温控的保温结构，包括加热组件、保温层、隔热外罩和底座；所述保温层完全包覆在MEMS惯性测量单元外部；加热组件设置在所述保温层与MEMS惯性测量单元之间，控制MEMS惯性测量单元的温度；隔热外罩和底座组成封闭空间，所述保温层贴附在隔热外罩和底座的内侧。本发明通过设置加热罩、保温层、外罩、底座组成保温结构，重量轻，体积小，恒温效果好，结构刚度好，且成本低。本发明的隔热外罩采用不锈钢材料加工而成，平衡了组合的质量分布，调整了组合重心，使MEMS惯性测量单元重心与组合重心保持一致，保证了MEMS惯性测量单元的减振效果最佳。

主权项

1.一种用于MEMS惯性测量单元温控的保温结构，其特征在于，包括加热组件、保温层、隔热外罩和底座；/n所述保温层完全包覆在MEMS惯性测量单元外部；/n加热组件设置在所述保温层与MEMS惯性测量单元之间，控制MEMS惯性测量单元的温度；/n隔热外罩和底座组成封闭空间，所述保温层贴附在隔热外罩和底座的内侧；/n隔热外罩和底座的材质不同，通过调整二者的尺寸比例，使MEMS惯性测量单元的在安装保温结构后重心位置保持不变；/n所述加热组件包括加热罩、贴附在加热罩上表面的上加热片和贴附在加热罩侧壁的侧加热片；/n保温层包括上保温毡、侧保温结构和下保温结构；/n所述上保温毡覆盖加热组件的上表面；所述侧保温结构覆盖加热组件的侧面，侧保温结构为厚度大于上保温毡的保温结构；下保温结构包括下隔热罩、下保温毡和隔热平垫，所述下隔热罩覆盖加热罩的下表面并支撑，下保温毡设置在下隔热罩内部，下保温毡上沿周向设置多个通孔，隔热平垫穿过通孔深入到加热罩内部支撑MEMS惯性测量组合；/n所述下隔热罩采用聚砜材料，隔热平垫采用陶瓷材质；/n上保温毡的厚度为4.5～5.5mm，侧保温结构包括设置在内层的4.5～5mm厚的侧保温毡和设置在外层的2.5～3mm厚的薄保温毡；下保温毡厚度为4.5～5.5mm。/n