[发明专利]一种适用于高纯氯硅烷的充装系统及其充卸料方法有效
| 申请号： | 201711310529.3 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN107893907B | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 王姗 | 申请（专利权）人： | 成都蜀菱科技发展有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/06 | 分类号： | F17C5/06;F17C13/00;F17C13/02 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 何龙 |
| 地址： | 610000 四川省成都市新*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种适用于高纯氯硅烷的充装系统及其充卸料方法，其主要涉及物料充装领域。该充装系统通过对常规氮气管线系统与尾气管线系统进行并联连通，对第一高纯氮气管线系统与尾气管线系统进行并联连通，对第二高纯氮气管线系统与卸车管线系统进行并联连通，对装车管线系统与尾气管线系统和卸车管线系统均进行并联连通，实现了对高纯氯硅烷的充卸料和吹扫置换，解决了高纯物料充装、卸车过程面临的物料污染、环境污染、设备腐蚀等问题，取得了保护充装系统设备、防止物料污染和环境污染的技术效果；通过设置PLC控制系统，提高了充装系统的充卸料效率，故上述的充装系统及其充卸料方法表现出了较高的实用价值，具备重要的推广应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 高纯 硅烷 系统 及其 卸料 方法 | ||
【主权项】：
1.一种适用于高纯氯硅烷的充装系统，其特征在于，其包括相互并联设置的常规氮气管线系统、高纯氮气管线系统、尾气管线系统、装车管线系统以及卸车管线系统，其中，所述常规氮气管线系统与所述尾气管线系统并联连通，所述高纯氮气管线系统包括第一高纯氮气管线系统和第二高纯氮气管线系统，所述第一高纯氮气管线系统与所述尾气管线系统并联连通，所述第二高纯氮气管线系统与所述卸车管线系统并联连通；所述装车管线系统与所述尾气管线系统和所述卸车管线系统均并联连通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都蜀菱科技发展有限公司，未经成都蜀菱科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711310529.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
