[发明专利]一种超级背封品再腐蚀的工艺方法

摘要

本发明提供了一种超级背封品再腐蚀的工艺方法，包括如下步骤：(A)采用氨水和双氧水混合液对超级背封品清洗两次，去除表面颗粒和有机物污染物；(B)采用HNO3、HF以及CH3COOH组成的化学腐蚀药液对步骤(A)中的超级背封品腐蚀8～15秒；(C)采用四甲基氢氧化铵和聚氧乙烯二苯醚混合液洗净步骤(B)中的产品，去除化学腐蚀残留的药液、有机物及金属沾污；(D)将步骤(C)中的产品倾斜放置在体积分数为3～17.8的HF溶液中4～7min后，采用纯水溢流两次后甩干，得到再腐蚀后产品。

主权项

1.一种超级背封品再腐蚀的工艺方法，其特征在于，包括如下步骤：

(A)采用氨水和双氧水混合液对超级背封品清洗两次，去除表面颗粒和有机物污染物；

(B)采用HNO₃、HF以及CH₃COOH组成的化学腐蚀药液对步骤(A)中的超级背封品腐蚀8～15秒；

(C)采用四甲基氢氧化铵和聚氧乙烯二苯醚混合液洗净步骤(B)中的产品，去除化学腐蚀残留的药液、有机物及金属沾污；

(D)将步骤(C)中的产品倾斜放置在体积分数为3～17.8的HF溶液中4～7min后，采用纯水溢流两次后甩干，得到再腐蚀后的产品。

2.根据权利要求1所述的超级背封品再腐蚀的工艺方法，其特征在于：

其中，在步骤(A)的氨水和双氧水混合液中，NH₄OH、H₂O₂、H₂O之间的体积比为1:1:8。

3.根据权利要求1所述的超级背封品再腐蚀的工艺方法，其特征在于：

其中，在步骤(B)中，HF、HNO₃、CH₃COOH组成的混酸原液的体积分数比为1:6:2，所述超级背封品被腐蚀的时间为10秒。

4.根据权利要求1所述的超级背封品再腐蚀的工艺方法，其特征在于：

其中，在步骤(C)中，四甲基氢氧化铵溶液与聚氧乙烯二苯醚溶液之间的体积比为8:1。

5.根据权利要求1所述的超级背封品再腐蚀的工艺方法，其特征在于：

其中，在步骤(D)中，HF的体积分数为9.8％，产品在该体积分数的HF中的放置时间为5min。

6.根据权利要求1所述的超级背封品再腐蚀的工艺方法，其特征在于：

其中，纯水每次溢流的时间为5min。