[发明专利]一种MEMS气体传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201711277190.1 | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN108152340A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 栾山 | 申请（专利权）人： | 上海斐讯数据通信技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 杭州千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 周希良;吴辉辉 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于气体传感器技术领域，涉及一种MEMS气体传感器及其制备方法。本发明的MEMS气体传感器依次包括基底、微梁结构和气敏层，所述气敏层由Li原子掺杂的少层黑磷材料制成。本发明的气体传感器可用于CO气体的检测，具有较高的稳定性和灵敏性。 | ||
| 搜索关键词： | 气体传感器 制备 原子掺杂 灵敏性 气敏层 黑磷 基底 可用 敏层 少层 微梁 检测 | ||
【主权项】：
一种MEMS气体传感器，其特征在于，所述MEMS气体传感器依次包括基底、微梁结构和气敏层，所述气敏层由Li原子掺杂的少层黑磷材料制成。
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