[发明专利]一种金刚石涂层的制备方法及其制备装置

摘要

本发明提供一种金刚石涂层的制备方法，其包括以下步骤：将三聚氰胺溶解于醇溶液中，得到混合溶液；以甲烷和氢气为反应气源，将所述反应气源和所述混合溶液同时通入沉积室中，利用热丝气相沉积法在基体的表面沉积金刚石，得到金刚石涂层。该方法在气相沉积中引入了三聚氰胺和醇溶液，三聚氰胺和醇分解形成NH

主权项

1.一种金刚石涂层的制备方法，其包括以下步骤：/n在50～70℃条件下，按照三聚氰胺和醇溶液的质量比为1：（80～140）的比例，将所述三聚氰胺溶解于所述醇溶液中，得到混合溶液；所述醇溶液为甲醇溶液、乙醇溶液或两者混合；/n以甲烷和氢气为反应气源，在热丝功率为5～7 kW，热丝温度为2000～2500℃，压力为2～4 kPa 的条件下，将所述反应气源通入所述混合溶液中，并使所述反应气源携带所述混合溶液的蒸汽通入沉积室，利用热丝气相沉积法在经过预处理的基体的表面沉积金刚石涂层8～12 h，得到金刚石涂层；所述反应气源中甲烷的体积分数为1.5%～3%。/n