[发明专利]镜片镀膜视觉监控系统及其使用方法

摘要

本发明提供的镜片镀膜视觉监控系统,包括真空室，真空室的底部安装有电子束源和离子源，真空室顶部有工件旋转架，工件旋转架的下端设有球面工件盘，球面工件盘上设有若干个镜片安装孔，球面工件盘的顶部中心设有观察孔，观察孔上方装有光学测试片，光学测试片的上方设置有滤光镜，滤光镜的上方设有彩色相机和反射光源，彩色相机连接有图像采集与分析系统，图像采集与分析系统连接有膜厚沉积控制系统，膜厚沉积控制系统包括膜厚控制器，膜厚控制器与电子束源连接。本发明将薄膜工艺过程中的监控基准实现标准化，使得产品的透光率、颜色和硬度等指标都能可靠、精确、稳定地控制在较小偏差范围内，解决人为监测和人为控制节点的偏差问题，解放人力。

主权项

一种镜片镀膜视觉监控系统, 包括真空室（500），所述真空室（500）的底部安装有电子束源（400）和离子源（440），其特征在于：所述真空室（500）顶部布置有工件旋转架（430），所述工件旋转架（430）的下端设有球面工件盘（410），所述球面工件盘（410）上设有若干个镜片安装孔（411），所述球面工件盘（410）的顶部设有观察孔（412），所述观察孔（412）上方装有光学测试片（120），所述光学测试片（120）的上方设置有滤光镜（130），所述滤光镜（130）的上方设有彩色相机（100）和反射光源（140），所述彩色相机（100）连接有图像采集与分析系统（800），所述图像采集与分析系统（800）连接有膜厚沉积控制系统（810），所述膜厚沉积控制系统（810）包括膜厚控制器（820），所述膜厚控制器（820）与所述电子束源（400）连接。