[发明专利]一种摆动装置有效
| 申请号： | 201711233983.3 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN107958859B | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 袁丁;陈荣 | 申请（专利权）人： | 扬州虹扬科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/673 |
| 代理公司： | 南京源点知识产权代理有限公司 32545 | 代理人： | 潘云峰 |
| 地址： | 225116 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种摆动装置，包括底座和支撑板，底座内部设置有平面摇摆机构和偏转摇摆机构，偏转摇摆机构位于平面摇摆机构上方，支撑板安装在偏转摇摆机构上方，且支撑板的四周安装有限位柱，限位柱的内侧开设有安装槽，本发明解决了现有技术中摆动效率差，只能在单方向摆动的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 摆动 装置 | ||
【主权项】：
一种摆动装置，其特征在于，包括底座和支撑板，所述底座内部设置有平面摇摆机构和偏转摇摆机构，所述偏转摇摆机构位于所述平面摇摆机构上方，所述支撑板安装在偏转摇摆机构上方，且支撑板的四周安装有限位柱，所述限位柱的内侧开设有安装槽。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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