[发明专利]荧光显微镜及包含其的基板检查装置在审
| 申请号： | 201711216616.2 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN108121061A | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 鱼庆湖;李允贞 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/06 | 分类号： | G02B21/06;G02B21/16;G02B21/26 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 余文娟 |
| 地址： | 韩国忠清南道天*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 基板检查装置包括用于支撑其上形成有检查图案的显示基板的台模块，和用于捕获检查图案以获取检查图像的荧光显微镜。荧光显微镜包括用于向检查图案提供照明光的照明单元、包括用于将照明光导向检查图案的分束器的透镜单元，和用于从检测图案反射的光获取检查图像的照相机单元。特别地，照明单元包括其上安装有多个照明灯的照明基板，和用于调节照明基板的位置以有选择地使用照明灯中任何一个的位置调节单元。 | ||
| 搜索关键词： | 检查图案 荧光显微镜 基板检查装置 检查图像 照明单元 照明基板 照明灯 照明光 位置调节单元 照相机单元 透镜单元 图案反射 显示基板 分束器 捕获 检测 支撑 | ||
【主权项】：
一种荧光显微镜，用于捕获在显示基板上形成的检查图案以获取检查图像，所述荧光显微镜包括：用于向所述检查图案提供照明光的照明单元；包括用于将所述照明光导向所述检查图案的分束器的透镜单元；和用于从所述检查图案反射的光获取所述检查图像的照相机单元，其中，所述照明单元包括：其上安装有多个照明灯的照明基板；和用于调节所述照明基板的位置以有选择地使用所述照明灯中任何一个的位置调节单元。
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