[发明专利]一种基于场发射阴极电子源的电离真空计及其应用方法

摘要

本发明公开了一种基于场发射阴极电子源的电离真空计及其应用方法，本发明公开了一种基于场发射阴极电子源的电离真空计，该真空计包括场发射电子源、离子收集极、电子振荡收集极、和圆筒外电极等。从场发射阴极发射出的电子流，以一定能量进入电离区域轰击真空腔体残留气体分子，气体被电离形成正离子，部分离子被离子收集极收集，收集到的离子电流与气体压强成正比，从而测量真空系统的压强。本真空计具有灵敏度高、测量范围宽、功耗低、放气低、响应速率快等优点。

主权项

1.一种基于场发射阴极电子源的电离真空计，其特征在于：包括有场发射阴极电子源，该场发射阴极电子源包括有场发射阴极和场发射门极，场发射阴极和场发射门极之间设置有场发射电压，场发射门极对应场发射阴极电子源的场发射方向的外端位置设置有离子收集极，离子收集极输出离子收集极所在区域内的离子收集极电流I_i，离子收集极对应场发射阴极电子源的场发射方向的外端位置为电子收集极，电子收集极外侧为外电极，离子收集极电位低于电子收集极电位，外电极电位低于电子收集极电位，所述的电子收集极上设置有供电子来回穿越的栅孔，电子收集极输出电子收集极所在区域的电子收集电流I_e，离子收集极电位在-100V到100V区间，电子收集极电位在100V到300V区间，外电极的电位为接地电位，所述的离子收集极为环形。/n