[发明专利]柔性传感器的制备方法有效
申请号: | 201711193503.5 | 申请日: | 2017-11-24 |
公开(公告)号: | CN108007480B | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | 刘涛;罗姜姜;姚艳波;段晓爽 | 申请(专利权)人: | 苏州大学 |
主分类号: | G01D5/16 | 分类号: | G01D5/16;G01D5/20;G01D5/24;A61B5/08 |
代理公司: | 32257 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 杨慧林;冯瑞 |
地址: | 215000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种柔性传感器的制备方法,包括以下步骤:在柔性基体的部分表面修饰可碳化高分子,形成可碳化高分子层;使用激光照射至少一部分可碳化高分子层以实现原位碳化,形成传感元件;将传感元件的至少两处进行电连接以形成电极,得到柔性传感器。本发明的方法成本低、普适性强、设计灵活、制作简便,加工手段可自动化,工艺可控性好,所制备的柔性传感器具有多功能性,敏感度高。 | ||
搜索关键词: | 柔性 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种柔性传感器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:/n(1)在柔性基体的部分表面修饰可碳化高分子,形成可碳化高分子层;所述柔性基体为纸材、织物、塑料、金属片、玻璃或陶瓷;所述可碳化高分子层的厚度为20-500μm;/n(2)使用激光照射至少一部分所述可碳化高分子层以实现原位碳化,形成传感元件;激光照射时所使用的激光光源的波长为10nm-1mm;激光照射时的功率为200mW-10W;/n(3)将所述传感元件的至少两处进行电连接以形成电极,得到所述柔性传感器。/n
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