[发明专利]一种掺硼金刚石薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201711169862.7 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN109811328B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 唐永炳;谷继腾;杨扬 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/44;C23C16/56 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多孔结构的掺硼金刚石薄膜的制备方法，包括以下步骤：取衬底，将所述衬底表面清洗后，在所述衬底表面沉积掺硼金刚石薄膜；将表面沉积有所述掺硼金刚石薄膜的衬底在空气气氛中加热至600‑800℃，使所述掺硼金刚石薄膜表面形成多孔结构；随后将表面形成有多孔结构的掺硼金刚石薄膜置于硝酸钾的含氧酸溶液中煮沸进行表面处理，最终得到表面具有多孔结构的掺硼金刚石薄膜。利用本发明的制备方法仅通过一些简单、快捷的步骤不仅可以制备出表面具有多孔结构的掺硼金刚石薄膜，增加掺硼金刚石薄膜的比表面积，还可以提高掺硼金刚石薄膜的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多孔结构的掺硼金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：取衬底，将所述衬底表面清洗后，在所述衬底表面沉积掺硼金刚石薄膜；将表面沉积有所述掺硼金刚石薄膜的衬底在空气气氛中加热至600‑800℃，使所述掺硼金刚石薄膜表面形成多孔结构；随后将表面形成有多孔结构的掺硼金刚石薄膜置于硝酸钾的含氧酸溶液中煮沸进行表面处理，最终得到表面具有多孔结构的掺硼金刚石薄膜。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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