[发明专利]一种陶瓷高温振动传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种陶瓷高温振动传感器，该传感器由上表层、支撑层以及下表层通过层压烧结成型固化而成的形；上表层由四层陶瓷片层压而成，最上层的陶瓷片上表面印刷有电感，最下层的陶瓷片下表面印刷有电容上极板，且四层陶瓷片中心处均开设有第一通孔；支撑层由三层陶瓷片层压而成；所述下表层由三层陶瓷片层压而成，最下层的陶瓷片的外表面上印刷有电容下极板；上表层、支撑层以及下表层中的所有陶瓷片右侧均开设有第二通孔，电感与电容上极板通过第一通孔内的铂浆层相连，电感与电容下极板通过第二通孔内的铂浆层相连。本发明的陶瓷高温振动传感器既能够在常温下工作又能够在高温环境下工作，而且其结构简单，工艺简便，易于实现工业化生产。

主权项

1.一种陶瓷高温振动传感器，其特征在于：该传感器由上表层、支撑层以及下表层通过层压烧结成型固化而成的形；所述上表层由四层生瓷片层压而成，最上层的生瓷片上表面印刷有电感线圈，最下层的生瓷片下表面印刷有电容上极板，且四层生瓷片中心处均开设有第一通孔；所述支撑层由三层生瓷片层压而成；所述下表层由三层生瓷片层压而成，最下层的生瓷片的外表面上印刷有电容下极板；所述上表层、支撑层以及下表层中的所有生瓷片右侧均开设有第二通孔，所述电感线圈与电容上极板通过第一通孔内的铂浆层相连，所述电感线圈与电容下极板通过第二通孔内的铂浆层相连。