[发明专利]一种探头式薄膜热电偶温度传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201711161819.6 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN108007595B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 马炳和;邱涛;金新航;邓进军;苑伟政;姜澄宇 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01K7/04 | 分类号： | G01K7/04;G01K7/12;G01K1/14 |
| 代理公司： | 61204 西北工业大学专利中心 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种探头式薄膜热电偶温度传感器及其制作方法，属于薄膜传感器技术领域。本发明在陶瓷柱体上沉积薄膜热电偶，陶瓷柱体尾部封装铂电阻温度传感器测量薄膜热电偶冷端温度，对薄膜热电偶进行温度补偿。使用高温陶瓷绝缘结合剂将沉积有薄膜热电偶的陶瓷柱体封装固定于金属管壳中，薄膜热电偶测温结点与管壳端面平齐，直接暴露于测温环境。利用薄膜热电偶物理尺寸小，响应快速的特点可以解决航空航天领域高温高速流场瞬时温度测量的需求，同时探头式管壳封装结构解决薄膜热电偶在实际工程测量环境中的应用安装等技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探头 薄膜 热电偶 温度传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种探头式薄膜热电偶温度传感器，其特征在于，包括陶瓷柱体(10)、第一薄膜热电偶臂(12)、第二薄膜热电偶臂(13)、瓷绝缘结合剂(14)、导电银浆(15)、薄膜热电偶引线(16)、封装管壳、铂电阻(30)、铂电阻引线(31)；所述第一薄膜热电偶臂(12)材料为氧化铟(In
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