[发明专利]一种自由曲面的检测方法在审
申请号: | 201711148520.7 | 申请日: | 2017-11-17 |
公开(公告)号: | CN107941471A | 公开(公告)日: | 2018-04-20 |
发明(设计)人: | 汪际军 | 申请(专利权)人: | 全普光电科技(上海)有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01B21/20;G01B11/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200000 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种自由曲面的检测方法,包括提供一测试结构;测试结构具有光学自由曲面;获取光学自由曲面的中心位置;在光学自由曲面上划出多条曲线,以中心位置作为坐标原点,建立三维坐标系,获取多条曲线的曲线坐标数据;根据曲线坐标数据,拟合出模拟曲面;将模拟曲面和理论光学自由曲面进行比较,得到光学自由曲面的面形误差值。本发明实现了对光学自由曲面的有效测量,提高了检测精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 自由 曲面 检测 方法 | ||
【主权项】:
一种光学自由曲面的检测方法,其特征在于,包括:步骤01:提供一测试结构;测试结构具有光学自由曲面;步骤02:获取光学自由曲面的中心位置;步骤03:在光学自由曲面上划出多条曲线,以所述中心位置作为坐标原点,建立三维坐标系,获取多条曲线的曲线坐标数据;步骤04:根据所述曲线坐标数据,拟合出模拟曲面;步骤05:将模拟曲面和理论光学自由曲面进行比较,得到光学自由曲面的面形误差值。
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