[发明专利]一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置

摘要

本发明公开了一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置，包括气浮系统、正压进气测量装置和负压抽气测量装置。所述气浮系统由底板、节流板以及面板装贴合在一起组合而成。所述节流板上设置有若干对正压进气节流通道和负压出气节流通道，所述正压进气测量装置和负压抽气测量装置分别对正压进气节流通道和负压出气节流通道进行检测。本发明通过正压进气测量装置和负压抽气测量装置准确测量出节流板的节流参数，筛选出合格的节流板，提高玻璃基板检测的良品率；本发明对气浮系统的使用以及节流板的制造都有一定的指导意义。

主权项

1.一种用于测量玻璃基板气浮系统节流板节流参数的装置，包括气浮系统(1)和玻璃基板(14)，所述气浮系统(1)设有节流板(11)、底板(12)和面板(13)，所述节流板(11)为水平布置的长方形板，节流板(11)上方贴合面板(13)，节流板(11)下方贴合底板(12)；所述节流板(11)设有孔距为20～30mm相间排列的若干对正压进气节流通道(111)和负压出气节流通道(112)；所述底板(12)设有正压进气口(121)和负压抽气口(122)，且正压进气口(121)与正压进气节流通道(111)相对应，负压抽气口(122)与负压出气节流通道(112)相对应；所述面板(13)设有分别对应与正压进气节流通道(111)和负压出气节流通道(112)的正压出气孔(131)、负压进气孔(132)；所述气浮系统(1)工作时，玻璃基板(14)水平放置于面板(13)的上方，正压进气口(121)接通压缩空气，负压抽气口(122)连接负压吸气装置，玻璃基板(14)与面板(13)之间形成气膜，所述气膜将玻璃基板(14)悬浮在面板(13)的上方；其特征在于：所述正压出气孔(131)上连接正压进气测量装置(2)，负压进气孔(132)上连接负压抽气测量装置(3)；所述正压进气测量装置(2)设有正压浮子装置(28)，所述正压浮子装置(28)包括正压锥孔管(281)和正压浮子(282)；所述负压抽气测量装置(3)设有负压浮子装置(35)，所述负压浮子装置(35)包括负压锥孔管(351)和负压浮子(352)；对节流板(11)检测时，正压进气口(121)接通压缩空气，负压抽气口(122)连接负压吸气装置，观察正压浮子(282)在正压锥孔管(281)中的悬浮位置，观察负压浮子(352)在负压锥孔管(351)中的悬浮位置，可以分别判定正压进气节流通道(111)和负压出气节流通道(112)是否存在漏气，根据检测出的漏气通道数量计算出漏气通道数量占通道总数的比值，并通过所述比值判定被测节流板(11)的节流参数是否在合格状态。