[发明专利]激光介入微细电解加工方法及其装置有效
| 申请号： | 201711136281.3 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN107971592B | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 张文武;王玉峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | B23H7/38 | 分类号： | B23H7/38;B23H9/14 |
| 代理公司： | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人： | 王惠 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种激光介入微细电解加工方法，至少包括以下步骤：工具电极和待加工工件分别与电源的负极和正极连接；激光和电解液通过工具电极传输至待加工工件的加工区域；接通电源后进行微细电解加工，工具电极向待加工工件进给，得到目标结构。本申请中的方法以及激光介入微细电解加工装置中，激光光束通过液核光纤以全反射传输至较深的加工区域，实现了激光能量场与电化学加工的大深度耦合，可实现大深径比微细结构的高效率加工。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 介入 微细 电解 加工 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光介入微细电解加工方法，其特征在于，至少包括以下步骤：(1)工具电极和待加工工件分别与电源的负极和正极连接；(2)激光和电解液通过工具电极传输至待加工工件的加工区域；(3)接通电源后进行微细电解加工，工具电极向待加工工件进给，得到目标结构；其中，所述工具电极位于待加工工件的上方；步骤(1)中所述工具电极的结构为：内部为液核光纤，外层为包裹液核光纤的金属导管；所述激光和电解液通过液核光纤传输至待加工工件的加工区域；所述电解液通过液核光纤内部传输至加工区域；所述激光射入液核光纤，通过在液核光纤内壁/电解液界面全反射传输至加工区域；所述电解液为钝性电解液，在所述待加工工件表面形成钝化层。
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